低能耗、高纯度：新乡诚德超纯氨电子气和二氧化碳液化提纯装置

更新时间： 2026-04-15 点击次数： 6次

在半导体、光伏等战略性新兴产业中，电子特气被誉为芯片制造的“血液”。其中，超纯氨与高纯二氧化碳作为关键工艺气体，其纯度直接决定了晶圆制造的良率与性能。长期以来，高端电子特气制备装备的核心技术主要掌握在少数国际巨头手中，成为制约我国电子信息产业供应链安全的关键瓶颈。随着国家“强链补链”战略深入实施，实现高端气体装备国产化替代，已成为行业发展的必然趋势。

挑战：毫厘之间的执着追求

电子级气体的制备是一场关于“纯净度”的较量。无论是超纯氨还是电子级二氧化碳，都要求将水分、氧含量、颗粒物及金属离子等杂质控制在ppb（十亿分之一）甚至ppt（万亿分之一）级别。任何微量的杂质波动，都可能导致整批芯片报废。这对提纯装备的材料选择、工艺控制、密封技术及在线监测能力提出了近乎苛刻的要求。如何在大规模工业化生产中持续、稳定地输出超高纯度气体，正是检验装备制造商技术实力的核心标准。

▲超纯氨电子气和二氧化碳液化提纯装置

新乡诚德超纯氨电子气和二氧化碳液化提纯装置

面向国家战略需求与行业痛点，新乡诚德研发了超纯氨电子气和二氧化碳液化提纯装置。该系列装备凝聚了新乡诚德在气体分离与纯化领域多年的技术积淀，为国内高端制造提供关键装备支持。

●提纯工艺：装置采用了深度净化与精密精馏技术。针对超纯氨，系统能迅速脱除水分与有机杂质。针对二氧化碳，重点攻克了液化过程中的二次污染难题。产品纯度稳定达标。

●洁净控制：秉持“材质决定纯度”理念，装置所有与气体接触的部件均选用高适配性特种材料，并经过特殊工艺处理。结合全封闭洁净设计与严格清洗流程，从源头杜绝杂质引入。

新乡诚德的超纯氨电子气和二氧化碳液化提纯装置，既可应用于新建电子特气生产线，也可用于现有产线升级改造。模块化设计与灵活产能配置，能够适配不同规模客户的多样化需求。

▲超纯氨电子气和二氧化碳液化提纯装置

以装备之强，助产业之兴

高端装备是制造业的脊梁。新乡诚德坚持技术创新，为客户提供更安全、更纯净、更可靠的气体解决方案，与中国电子信息产业同频共振，共同筑牢国家产业链供应链安全屏障。未来，我们将继续秉持匠心、深耕技术，助力“中国芯”稳健腾飞。